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          當前位置:首頁產品中心德國KleindiekProber ShuttlePS4/PS8Prober Shuttle PS8

          Prober Shuttle PS8
          產品簡介:

          Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達八個MM4 微機械手以及一個三軸子平臺。可用于半導體材料,器件,結構等電學性能分析。

          產品型號:PS4/PS8

          更新時間:2025-01-16

          廠商性質:代理商

          訪 問 量 :1085

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          產品介紹

          Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達八個MM4 微機械手以及一個三軸子平臺。27 個軸中的每個軸都能以JI高的精度進行定位。探針的 Z 驅動向上擺動 90°,便于接近樣品,也便于快速更換針尖。


          每個微型MM4機械手都配備了用于低電流測量套件。整個平臺可通過一個 6" Load Lock進入掃描電鏡或掃描電鏡/FIB 的真空室。


          Prober Shuttle PS8,還配有高級探測工具套件(可選),可為Probing探測應用提供大量附加功能。可用于半導體材料,器件,結構等電學性能分析。


          系統特點

          所有空氣側硬件均安裝在 19 英寸機架上

          電子設備機架位于操作員視線之外

          通過 APT UI 控制整個系統

          從法蘭到機架的整潔電纜管理

          針對電路編輯應用的 FIB 傾斜探測

          非磁性設計

          可用于5納米及更高



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